সেমিকন্ডাক্টর কি উপকরণ দিয়ে তৈরি?সেমিকন্ডাক্টরের জন্য মলিবডেনাম স্পুটারিং লক্ষ্য
আজ, অর্ধপরিবাহী শিল্প থেকে শুরু করে সমন্বিত সার্কিট প্রক্রিয়াকরণে বিভিন্ন উপকরণের পাতলা ফিল্ম জমা পর্যন্ত বিভিন্ন ধরণের অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে স্পুটারিং লক্ষ্যগুলি ব্যবহৃত হয়।স্পাটারিং হল বিভিন্ন আকৃতি এবং আকারের সাবস্ট্রেটে বিভিন্ন ধরণের পাতলা ফিল্ম জমা করার জন্য একটি প্রতিষ্ঠিত কৌশল।স্পুটার জমাকৃত ফিল্মগুলিতে পছন্দসই বৈশিষ্ট্যগুলি পাওয়ার জন্য, স্পাটার টার্গেট তৈরি করতে ব্যবহৃত ফ্যাব্রিকেশন উপকরণ এবং প্রক্রিয়াগুলি গুরুত্বপূর্ণ।নীচে আমরা সেমিকন্ডাক্টরগুলির জন্য মলিবডেনাম স্পুটারিং লক্ষ্যগুলির দিকে নজর দিই৷
টাংস্টেন, মলিবডেনাম, নাইওবিয়াম, টাইটানিয়াম এবং সিলিকনের মতো খাঁটি ধাতব লক্ষ্য ছাড়াও, টংস্টেন, মলিবডেনাম, টাইটানিয়াম, সিলিকন এবং ট্যানটালামের মতো মিশ্র লক্ষ্যবস্তু, পাশাপাশি অক্সাইড বা নাইট্রাইডের মতো যৌগও রয়েছে।উপাদান নির্ধারণের প্রক্রিয়া ডিপোজিশন অপারেটিং প্যারামিটারগুলির মতো গুরুত্বপূর্ণ যা প্রকৌশলী এবং বিজ্ঞানীরা আবরণ প্রক্রিয়ার সময় নিখুঁত করে।
অন্যান্য ডিপোজিশন পদ্ধতির সাথে তুলনা করে, স্পুটারড ফিল্মের সাবস্ট্রেটের উপর ভাল আনুগত্য থাকে এবং মলিবডেনাম এবং টাংস্টেনের মতো অত্যন্ত উচ্চ গলনাঙ্কের উপাদানগুলিও সহজেই ছিটকে যায়।এছাড়াও, স্পুটারিং উপর থেকে নীচে করা যেতে পারে, যখন বাষ্পীভবন শুধুমাত্র নীচে থেকে উপরে করা যেতে পারে।
স্পুটারিং লক্ষ্যগুলি সাধারণত গোলাকার বা আয়তক্ষেত্রাকার হয়, তবে অন্যান্য আকারগুলিও পাওয়া যায়, বর্গাকার এবং ত্রিভুজাকার নকশা সহ।সাবস্ট্রেট হল আবরণযোগ্য বস্তু, যাতে সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার, সৌর কোষ, অপটিক্যাল উপাদান বা অন্যান্য অনেক সম্ভাবনা থাকতে পারে।আবরণের পুরুত্ব সাধারণত অ্যাংস্ট্রোম থেকে মাইক্রোন পর্যন্ত হয়।ঝিল্লি একটি বহুস্তর কাঠামোতে একক উপাদান বা একাধিক উপকরণ হতে পারে।
বিস্তৃত ব্যবহার সহ একটি অবাধ্য ধাতু হিসাবে, মলিবডেনামের চমৎকার যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য, কম প্রসারণ, উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং উচ্চ তাপমাত্রায় অত্যন্ত উচ্চ বৈদ্যুতিক পরিবাহিতা রয়েছে।স্পুটারিং টার্গেট হিসাবে, বিশুদ্ধ মলিবডেনাম টার্গেট, মলিবডেনাম টাইটানিয়াম টার্গেট, মলিবডেনাম ট্যানটালাম টার্গেট, মলিবডেনাম অ্যালয় টার্গেট (যেমন TZM প্লেট) এর মতো বিভিন্ন সমন্বয় রয়েছে।
মলিবডেনাম স্পুটারিং টার্গেটে উচ্চ বিশুদ্ধতা, উচ্চ ঘনত্ব, সূক্ষ্ম এবং অভিন্ন শস্যের বৈশিষ্ট্য রয়েছে, যাতে স্পাটারিং প্রক্রিয়ার সময় অত্যন্ত উচ্চ স্পটারিং দক্ষতা, অভিন্ন ফিল্ম বেধ এবং মসৃণ এচিং পৃষ্ঠ পাওয়া যায়।